Из вышеприведенного следует, что одна из главных характеристик, обеспечивающих защитные свойства карбидокремниевого покрытия, наносимого на материалы УУКМ, УККМ - его толщина.
По отношению к покрытиям различают четыре вида толщины: локальная, средняя, минимальная, максимальная. Так как защитные свойства SiC покрытия определяются толщиной, то измерению подлежит локальная толщина с выбором минимального значения на заданной площади. Степень локальности определяется геометрией покрытия и разрешающей по площади способностью измерительного средства.
По физическим свойствам карбидокремниевое покрытие не обладает каким - либо электрическими или магнитными свойствами, позволяющими использовать магнитные, вихретоковые, электрические методы контроля.
Разность акустических свойств покрытия и основы и геометрическая форма границ покрытия не позволяют также использовать стандартные методы ультразвуковой толщинометрии. Единичные измерения образцов покрытия в локальных точках возможны с помощью сканирующего акустического микроскопа. Однако соответсвующая аппаратура не может быть использована в качестве технологического средства контроля.
Наиболее объективным физическим признаком, отличающим карбидокремниевое покрытие от подложки (УККМ) является плотность.
Для измерения толщины покрытия с плотностью р2, отличающейся от плотности основы p1 может быть использован только радиационный метод. В условиях одностороннего доступа к изделию можно использовать только обратно рассеянное излучение.
Ввиду всех особенностей покрытия был разработан гамма-толщиномер,
позволяющий измерять толщину покрытия при одностороннем доступе к объекту контроля.
Конструкция измерительного преобразователя включает в себя источник гамма-излучения на основе радионуклида Америций 241, сцинтилляционный детектор NaJ(Tl) и фотоэлектронный ускоритель.
Радионуклид Америций 241 был выбран в качестве основы для источника гамма излучения в связи с тем, что энергия излучения радионуклида равна 60 кэВ. Такая энергия излучения позволяет контролировать покрытия толщиной от 10 до 300 мкм.
Сцинтиллятор NaJ(Tl) обладает световым выходом и линейной связью между амплитудой импульса и величиной энергии, потерянной заряженной частицей.
Основные параметры ФЭУ, по которым проводился отбор для использования в измерительном блоке толщиномера:
Габариты
Световая анодная чувствительность (отношение анодного фототока к вызывающему его световому потоку при номинальных потенциалах электродов), составляет 1-104 А/лм
Спектральная чувствительность (равная спектральной чувствительности фотокатода, умноженной на коэффициент усиления умножительной системы, лежащий обычно в пределах 103-108)
Темновой ток, как правило, не превышает 10-9-10-10 А
По этим параметрам для толщиномера был выбран фотоумножитель ФЭУ-60.
Конструкция измерительного преобразователя должна обеспечивать радиационную защиту персонала
В самом приборе реализован спектрометрический метод измерения, основанный на анализе энергетического спектра регистрируемого потока обратно рассеянных квантов. Суммарный амплитудный спектр регистрируемых детектором квантов представлен на рисунке 9. Спектр содержит кванты первичного излучения с энергией 60кэВ. Ширина спектральной линии определяется энергетическим разрешением сцинтилляционного детектора. Для используемого в приборе сцинтиллятора NaJ(Te) энергетическая разрешающая способность по америцию (60 кэВ) составляет 15%, что соответствует ширине аппаратной линии спектра на полувысоте ±4,5кэВ (Рисунок 9). Форма аппаратурной линии описывается нормальным распределением. Спектр рассеянного от объекта контроля излучения является непрерывным. Энергии рассеянных квантов лежат в пределах от 0 до 52кэВ (рисунок 9, пунктирная линия). В области энергий